（1）擦洗和浸洗

较简单的擦洗方法是用脱脂棉、镜头纸、橡皮辊或刷子，蘸水、酒精、去污粉、白垩等擦拭玻璃表面。擦洗时要防止将玻璃磨伤，同时要将表面残余的去污粉、白垩用纯水和乙醇清洗掉。另一种常用的方法是将玻璃放在装有溶剂的容器中，进行浸泡清洗。浸泡一定时间后，用镊子或其他特制夹具，将清洗过的玻璃取出，用纯棉布擦干，此法所需设备简单，操作方便，成本也较低。用于清洗的有机溶剂有乙醇、丙酮、四氯化碳、三氯乙烯、异内醇、甲苯等。除了利用溶剂溶解污染物以外，还可利用溶剂和玻璃表面的化学反应，以清洗表面，如采用酸洗和碱洗。

（2）喷射清洗

为了提高清洗效率，生产中常用喷射清洗的方法，利用运动流体施加于玻璃表面，以剪切力来破坏污染物与玻璃表面的黏附力，污染物脱离玻璃表面再被流体带走。通常采用一种扇形喷嘴，喷嘴安装接近玻璃处，与玻璃表面之间的距离不超过喷嘴直径的100倍，喷射压力为350kPa，压力愈大，清洗效果愈好。考虑到降低成本，一般依次使用热水、含洗涤剂的水溶液、自来水、去离子水作为溶剂进行喷射清洗。

2、加热处理

加热处理是比较简单的表面清洁方法，可除去玻璃表面黏附的有机污物和吸附的水分，如在真空下加热，效果更好。一般玻璃加热清洁处理的温度为100-400℃，在超真空下加热至450℃，可得到原子级的清洁表面。可采用电阻丝式高温火焰加热方法。采用重复“闪蒸法”，即在短周期（几秒钟）内加热至高温，反复“闪蒸”能成功地清洁表面，且避免玻璃表面一些组成的扩散和挥发。

3、有机溶剂蒸气脱脂

用有机溶剂蒸气处理玻璃表面，在15s-15min内能清除玻璃表面的油脂膜，可作为结尾的一道清洗工序。常用的有机化合物有乙醇、异丙醇、三氯乙烯、四氯化碳等。当玻璃表面污染比较严重时，在有机化合物蒸气处理前，先用去垢剂洗涤，以缩短有机溶剂蒸气的脱脂时间。此法处理后的玻璃带静电，易吸附灰尘，故必须在离子化的清洁空气中处理，以消除静电。

4、超声波清洗

超声波清洗是将玻璃放在装有清洗液的不锈钢容器中，容器底部或侧壁装有换能器将输人的电磁振荡转换成机械振荡，玻璃在低频或高频的超声波振动下进行清洗。低频时，振动液中的汽蚀将污浊的玻璃表面的粗粒除去。高汽蚀将损坏玻璃表面，所以低频时要小心地控制输出功率。

5、放电处理

将两片玻璃夹起来，两端夹人锡箔并通电，即沿玻璃表面放电，则可除去表面上的异物。实际应用较多的为辉光放电，在氩、氧等气体中放电电压为500-5000v，产生等离子体，玻璃放在等离子体中，受到辉光放电等离子体中电子、阳离子、受激原子和分子的轰击，使表面变清洁。此法常用于镀膜时玻璃基片的清洁处理。

6、紫外线辐照处理

利用紫外线辐照玻璃表面，使玻璃表面的碳氢化合物等污物分解，从而达到清洁目的。在空气中用紫外线辐照玻璃15h就能得到清洁的表面。如果增加紫外线的能量，用可产生臭氧波长的紫外线辐照玻璃Imin即可产生很好的效果，这是由于玻璃表面的污物受到紫外线激发而离解，并与臭氧中的高活性原子态氧作用，生成易挥发的H2O、CO2和N2，导致污物被清除。

7、离子轰击处理

离子轰击或称离子蚀刻、离子溅射，在表面测试仪中常用来清洁样品表面。常用的溅射离子为Ar+，由离子枪加速。溅射的Ar+可逐步剥去表面污染物质，随溅射时间的延长，剥去的表面层深度也随之增加。在利用高能离子轰击玻璃污物的同时，也会使玻璃表面自身的一些组成蚀刻去，所以应控制适当的溅射速度和溅射时间，以获得清洁的玻璃表面，又不致影响原有表面的组成和结构。

8、干冰清洗

将干冰颗粒磨成细粉，通过喷射清洗机与压缩空气混合，喷射到被清洗物品的表面，起到类似刮刀的作用，将污垢迅速剥离、清除。此法的优点是对环境没有任何污染，速度快、效率高、成本低、操作简便，并且在被清洗物表面不残留清洗介质，不需要进一步清洗与干燥。